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測(cè)試服務(wù)

測(cè)試服務(wù)

Testing service

EMMI（微光顯微鏡）
EMMI（微光顯微鏡）

對(duì)于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用，且效率極高的分析工具，主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會(huì)放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時(shí)N的電子很容易擴(kuò)散到P， 而P的空穴也容易擴(kuò)散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。


偵測(cè)到亮點(diǎn)之情況：

1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應(yīng)；4.閂鎖效應(yīng)； 5.氧化層漏電；6.多晶硅須；7.襯底損失；8.物理?yè)p傷等。


測(cè)試內(nèi)容：

1.P-N接面漏電，P-N接面崩潰；

2.飽和區(qū)晶體管的熱電子；

3.氧化層漏電流產(chǎn)生的光子激發(fā)；

4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD。

為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用？
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2024-11-27

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【MEMS工藝】三種常見CVD技術(shù)，你知道的有哪些？
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2024-11-04

本文將詳細(xì)介紹目前三種常見的CVD技術(shù)——低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）以及高密度等離子體化學(xué)氣相沉...

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2024-11-05

在半導(dǎo)體芯片制造中，從原材料處理到最終封裝測(cè)試，整個(gè)流程涉及上千道工序，每一環(huán)節(jié)都需要精確控制，以確保芯片的性能與質(zhì)量。隨著科技的飛速發(fā)展，...

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