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  • 碳化硅的化學機械拋光
    碳化硅的化學機械拋光

    2023-08-07

    碳化硅單晶生長之后是晶碇,而且具有表面缺陷,是沒法直接用于外延的,這就需要加工。其中,滾圓把晶碇做成標準的圓柱體,線切割會把晶碇切割成晶片,...

  • 如何選擇顯影液
    如何選擇顯影液

    2023-08-07

    顯影是在曝光后的重要步驟,利用曝光區(qū)域在化學性質(zhì)上與未暴光的區(qū)域不同,在特定的化學溶液中選擇性的保留曝光區(qū)域(負膠)或者未曝光區(qū)域(正膠)的...

  • 藍寶石襯底加工工藝
    藍寶石襯底加工工藝

    2023-08-04

    藍寶石單晶,是純凈的三氧化二鋁(α-Al2O3),具有極好的熱導性、電氣絕緣性、透光性、化學穩(wěn)定性,以及耐高溫、高強度、高硬度等一系列優(yōu)良的特性...

  • 聚焦離子束技術及其在微納加工技術中的應用
    聚焦離子束技術及其在微納加工技術中的應用

    2023-08-04

    聚焦離子束(FIB)技術是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后作用到樣品表面并進行納米加工。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割和故...

  • 離子束刻蝕(IBE)技術研究
    離子束刻蝕(IBE)技術研究

    2023-08-03

    1.離子束刻蝕(IBE)技術的原理? 離子束刻蝕(IBE,Ion Beam Etching)也稱為離子銑(IBM,Ion Beam Milling),也有人稱之為離子濺射刻...

  • 混合鍵合
    混合鍵合

    2023-08-03

    晶圓鍵合是近十幾年快速發(fā)展起來的新興半導體加工技術,在MEMS,CIS和存儲芯片等領域有著重要的應用,得到越來越多的關注。 在信息的海洋中,晶...

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