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MEMS開關(guān)
點(diǎn)擊量：1963 日期：2023-09-26 編輯：硅時代
MEMS器件在射頻比如無線通信上有很好的應(yīng)用。RF MEMS諧振器和誘導(dǎo)器品質(zhì)因子在微波上有大幅度提高。MEMS開關(guān)極大地改進(jìn)了高頻性能和降低了能耗。
自從1979年彼特森（K. E. Petersen）提出微加工繼電器以來，許多種類的MEMS開關(guān)被開發(fā)出來。隨著微加工技術(shù)的發(fā)展，MEMS開關(guān)的價格因?yàn)椴牧铣杀镜慕档秃褪褂脡勖难娱L而下降。
MEMS開關(guān)是用微機(jī)械加工技術(shù)集成在普通硅片上的開關(guān)。它用在射頻到毫米波（0.1到1000GHz）的通訊上。與傳統(tǒng)半導(dǎo)體器件比如雙極型晶體管和金屬氧化物場效應(yīng)晶體管相比，MEMS開關(guān)的優(yōu)點(diǎn)在于信號失真小、信號跟驅(qū)動隔開、功耗低、線性好、尺寸小和壽命長等。它可以被廣泛地應(yīng)用于遠(yuǎn)程通訊系統(tǒng)、無線通訊、自動測試設(shè)備和快速數(shù)據(jù)采集等。
MEMS開關(guān)的工作原理各式各樣，大多數(shù)用靜電驅(qū)動。MEMS開關(guān)的微接觸力從幾十到幾百微牛頓，其基本電學(xué)性能主要是在這個范圍內(nèi)的接觸電阻、擊穿電壓、熱耗散和表面損毀等。
表一列出了MEMS繼電器（MMR）跟砷化鉀場效應(yīng)管、二極管以及電磁繼電器（EMR）的性能比較。
大多數(shù)MEMS開關(guān)的結(jié)構(gòu)包含三部分：（1）機(jī)械可活動部件——懸臂或橫梁；（2）電驅(qū)動部件——電容或線圈；（3）信號線路——接觸點(diǎn)和引線。對應(yīng)不同的驅(qū)動機(jī)制，相應(yīng)的MEMS開關(guān)的類型有靜電、電磁、壓電體以及熱等。下面是幾種典型的MEMS開關(guān)。
